目的:分析3种探头在测量加速器小野输出因子数据的相对偏差,并基于现有文献资料对其进行修正。方法:选用3种探头Razor Chamber空气电离室(比利时),Razor Diode半导体探头(比利时),60019 micro Diamond宝石探头(德国),分别测量1 cm×1 cm,2 cm×2 cm,3 cm×3 cm,4 cm×4 cm,5 cm×5 cm,10 cm×10 cm射野的输出因子,并比较分析不同探头之间的测量相对偏差。结果:3种探头测量6 MV光子线的输出因子5 cm×5 cm、4 cm×4 cm、3 cm×3 cm、2 cm×2 cm和1 cm×1 cm相对最大差异分别为1.8%、2.2%、2.3%、2.3%和2.1%;10 MV光子线输出因子的相对最大偏差分别为1.1%、1.5%、1.5%、1.5%和2.1%;校正后相对最大偏差6 MV≤0.3%,10 MV≤0.5%。结论:3种探头因其自身材料和设计特性测量小野输出因子相对偏差较大,经校正因子修正后3种探头的测量数据获得了很好的一致性。